SJ/Z 21538-2018 混合集成电路统计过程控制技术实施指南_标准下载

SJ/Z 21538-2018 混合集成电路统计过程控制技术实施指南

行业标准-SJ 电子指导性技术文件

本标准规定了混合集成电路制造过程实施统计过程控制(statisticalprocesscontrol，以下简称SPC)技术的方法、主要步骤和相关技术的应用。本标准适用于混合集成电路制造过程实施SPC。

工业和信息化部电子第四研究院、西安电子科技大学、中国兵器工业第214研究所、中国电子科技集团公司第13研究所、中国电子科技集团公司第43研究所、中国航天科技集团有限公司第九研究院第771研究所、陕西华经微电子股份有限公司、深圳市振华微电子有限公司

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