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SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范

SJ/T 11863-2022 单片超大尺寸掩模板装载盒规范

SJ/T 11863-2022

行业标准-SJ 电子推荐性
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标准SJ/T 11863-2022标准状态

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  • 标准名称:单片超大尺寸掩模板装载盒规范
  • 标准号:SJ/T 11863-2022
    中国标准分类号:L90
  • 发布日期:2022-10-20
    国际标准分类号:31.03
  • 实施日期:2023-01-01
    技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员
  • 代替标准:
    主管部门:工业和信息化部
  • 标准分类:电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《单片超大尺寸掩模板装载盒规范》,主管部门为工业和信息化部。本标准规定了液晶显示器生产工艺中使用超大尺寸掩膜基板装载盒范。本标准适用于液晶显示器生产工艺中使用盛装超大尺寸掩膜基板装载盒,本标准适用于掩模基板尺寸范围为大于等于850mmX1200mm,小尺寸参照执行。本文件适用于掩膜基板自动装卸处理,尤其对于大尺寸掩模板是必不可少的。

起草单位

工业和信息化部电子工业标准化研究院、深圳清溢光电股份有限公司

起草人

王香、曹可慰、万承华、管琪、张莹、冯亚斌、张理、付雪涛

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