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JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件

JB/T 4082-1991 溅射离子泵技术条件

JB/T 4082-1991

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  • 标准名称：溅射离子泵技术条件
  • 标准号：JB/T 4082-1991
    中国标准分类号：J70
  • 发布日期：1991-07-22
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：1992-07-01
    技术归口：全国真空技术标准化技术委员会
  • 代替标准：代替JB 4082-1985被JB/T 4081-2011代替
    主管部门：机械电子工业部
  • 标准分类：流体系统和通用件JB 机械

内容简介

行业标准《溅射离子泵技术条件》，主管部门为机械电子工业部。本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。　　本标准适用于JB/T4081所规定的二级型（L型）和三极型（3L型）的溅射离子泵。

起草单位

机械电子工业部沈阳真空技术研究所

起草人

冯玉国

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