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SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法

SJ 20714-1998 砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法

SJ 20714-1998

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 20714-1998标准状态

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标准详情

  • 标准名称：砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法
  • 标准号：SJ 20714-1998
    中国标准分类号：H80
  • 发布日期：1998-03-18
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1998-05-01
    技术归口：中国电子技术标准化研究所
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电气工程SJ 电子

内容简介

本规范规定了砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法。本规范适用于经过化学、机械单面和双面抛光的砷化镓抛光片亚损伤层的定性测量。本标准规定了砷化镓抛光片亚损伤层的X射线双晶衍射试验方法。本标准适用于经过化学、机械单面和双面抛光的砷化镓晶片亚损伤层的定性测量。

起草单位

电子工业部第四十六研究所

起草人

张世敏、郝建民、段曙光

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