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SJ/T 10314-1992 直流四探针电阻率测试通用技术条件

SJ/T 10314-1992 直流四探针电阻率测试通用技术条件

SJ/T 10314-1992

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  • 标准名称:直流四探针电阻率测试通用技术条件
  • 标准号:SJ/T 10314-1992
    中国标准分类号:N04
  • 发布日期:1992-06-15
    国际标准分类号:17.220
  • 实施日期:1992-12-01
    技术归口:电子工业部标准化研究所
  • 代替标准:
    主管部门:电子工业部
  • 标准分类:计量学和测量、物理现象SJ 电子

内容简介

行业标准《直流四探针电阻率测试通用技术条件》,主管部门为电子工业部。本标准规定了直流四探针电阻率测试仪的主要技术性能、测试方法、检测规则、包装、运输、贮存要求等。本标准适用于电子和冶金等行业生产与科研中测量半导体、金属薄层等的电阻率、薄层电阻和电阻的直流四探针测试仪,其它以四探针法为基础的六探针、交直流四探针电阻率、薄层电阻测试仪可参照使用。本标准不包括四探针探头标准。

起草单位

北京建中机械器厂、中国计量科学研究院

起草人

查名瑞、李达汉、刘学俭、鲁效明、昊良宏

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