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SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件

SJ/T 10311-1992 低压化学气相淀积设备通用技术条件

SJ/T 10311-1992

行业标准-SJ 电子推荐性
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标准SJ/T 10311-1992标准状态

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标准详情

  • 标准名称：低压化学气相淀积设备通用技术条件
  • 标准号：SJ/T 10311-1992
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1992-06-15
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1992-12-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《低压化学气相淀积设备通用技术条件》，主管部门为电子工业部。本标准适用于卧式热壁型低压化学气相淀积设备的设计、制造及工艺应用。其它形式的LPCVD设备的研制亦应参照使用。

起草单位

国营建中机器厂

起草人

王学忠、刘映光

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