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SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件

SJ/T 10583-1994 气体质量流量控制器通用技术条件

SJ/T 10583-1994

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  • 标准名称：气体质量流量控制器通用技术条件
  • 标准号：SJ/T 10583-1994
    中国标准分类号：J72
  • 发布日期：1994-08-08
    国际标准分类号：23.120
  • 实施日期：1994-12-01
    技术归口：电子工业部标准化研究所
  • 代替标准：被SJ/T 10583-2016代替
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：流体系统和通用件SJ 电子

内容简介

行业标准《气体质量流量控制器通用技术条件》，主管部门为电子工业部。本标准规定了气体质量流量控制器的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于采用毛细管传热温差量热法原理进行测量的气体质量流量控制器。该控制器广泛应用于半导体集成电路工艺设备、光纤熔炼，以及化工、冶金、卫生等部门。

起草单位

北京建中机器厂

起草人

龚光祥、刘学俭、钱祖权

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