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SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范

SJ/T 11185-1998 蒸发镀膜设备通用规范

SJ/T 11185-1998

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标准SJ/T 11185-1998标准状态

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  • 标准名称：蒸发镀膜设备通用规范
  • 标准号：SJ/T 11185-1998
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1998-03-11
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1998-05-01
    技术归口：
  • 代替标准：代替SJ 1224-1977
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《蒸发镀膜设备通用规范》，主管部门为电子工业部。本标准规定了蒸发镀膜设备的分类与型号命名、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于极限压力为3×10^(-3)Pa～5×10^(-6)pa范围内的钟罩式和箱式蒸发镀膜设备。

起草单位

起草人

贺学红、陆裕芳、武又文、赵雨生

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