标准详情
- 标准名称:S枪磁控溅射台完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31067-1994
- 中国标准分类号:L95
- 发布日期:2010-02-25
- 国际标准分类号:31-550
- 实施日期:1997-01-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学电子元器件与信息技术SJ 电子电子工业生产设备加工专用设备
本标准规定了S枪磁控溅射台的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于进口S枪磁溅射台。
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