标准详情
- 标准名称:砂轮划片机完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31061-1994
- 中国标准分类号:L95
- 发布日期:1997-01-01
- 国际标准分类号:31-550
- 实施日期:1997-01-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学电子元器件与信息技术SJ 电子电子工业生产设备加工专用设备
标准主要起王锁弘(国营西北机器厂)、吴秀琴、陈世洪(中国华晶电子集团公司)
SJ/T31065-199424型晶片数控抛光机完好要求和检查评定方法
SJ/T31066-19943180型溅射台完好要求和检查评定方法
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SJ/T31068-1994离子注入机完好要求和检查评定方法
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SJ/T31070-19941482型键合机完好要求和检查评定方法
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SJ/T31072-1994FS-30联动机完好要求和检查评定方法
SJ/T31073-1994印记打印机完好要求和检查评定方法
SJ/T31074-1994MK-5000型印记打印机完好要求和检查评定方法
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