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SJ/T 31097-1994 TDH-4C4TO型去飞边机完好要求和检查评定方法

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SJ/T 31097-1994

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本标准规定了半导体集成电路生产用TDH-4C4TO型去飞边机的完好要求和检查、评定方法。本标准只适用于TDH-4C4TO型去飞边机。

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