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SJ/T 31082-1994 真空镀膜设备完好要求和检查评定方法

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SJ/T 31082-1994

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本标准规定了真空镀膜设备的完好要求和检查、评定方法。标准适用于极限压力在1×10^(-5)～1×10^(-4)pa范围内的各种型号真空镀膜设备。

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