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SJ/T 31121-1994 JB-VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

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SJ/T 31121-1994

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本标准规定了JB-VⅡ型掩模对准曝光机的完好要求和检查、评定方法。本标准只适用于了B-VⅡ型掩模对准曝光机和JB-IV型、JB-VH型、JB-Ⅲ型掩模对准曝光机。

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