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SJ/T 31077-1994 封帽机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31077-1994 封帽机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31077-1994

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本标准规定了7100AC型、700AC型封帽机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体器件生产中，类似7100AC型、700AC型封帽机。

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