当前位置：标准网 行业标准

SJ/T 31108-1994 CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法

SJ/T 31108-1994 CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法

SJ/T 31108-1994

行业标准-SJ 电子推荐性
收藏报错

标准SJ/T 31108-1994标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

内容简介

本标准规定了CG-3000型单晶炉的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体器件生产用单晶炉。

起草单位

起草人

相近标准

SJ/T31110-1994AMV－1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
SJ/T31111-1994AMC－7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
SJ/T31113-1994DB－3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T31115-1994精缩机完好要求和检查评定方法
SJ/T31116-1994PLA－501F型光刻机完好要求和检查评定方法
SJ/T31117-199415B型磨片机完好要求和检查评定方法
SJ/T31118-1994RS－H80H型外圆磨机完好要求和检查评定方法
SJ/T31119-1994掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T31120-1994KSM－MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T31121-1994JB－VⅡ型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」