标准详情
- 标准名称:AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31111-1994
- 中国标准分类号:L95
- 发布日期:2010-02-25
- 国际标准分类号:31-550
- 实施日期:1997-01-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学电子元器件与信息技术SJ 电子电子工业生产设备加工专用设备
本标准规定了AMC-7811/21系列桶式外延炉的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于AMC-7811/21系列桶式外延炉。
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