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SJ/T 31110-1994 AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法

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本标准规定了AMV-1284型硅外延炉的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于AMV-1284型和类似结构的其它型号的硅外延炉。

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