SJ/T 31100-1994 离子束蚀刻机完好要求和检查评定方法
SJ/T 31100-1994
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标准SJ/T 31100-1994标准状态
- 发布于：1994-04-15
- 实施于：1994-06-01
- 废止
内容简介
本标准规定子半导体器件生产用离子束蚀刻机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于电子产品生产、科研用离子束蚀刻机。
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