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YS/T 15-1991 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法

YS/T 15-1991 硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法

YS/T 15-1991

行业标准-YS 有色金属推荐性
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标准YS/T 15-1991标准状态

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标准详情

  • 标准名称：硅外延层和扩散厚度测定.磨角染色法
  • 标准号：YS/T 15-1991
    中国标准分类号：H20
  • 发布日期：1991-04-26
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1992-06-01
    技术归口：
  • 代替标准：被YS/T 15-2015代替
    主管部门：中国有色金属工业总公司
  • 标准分类：有色金属电气工程YS 有色金属

内容简介

行业标准《硅外延层和扩散层厚度测定磨角染色法》，主管部门为中国有色金属工业总公司。

起草单位

起草人

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