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SJ 2758-1987 同型外延层厚度的红外干涉测试方法

SJ 2758-1987 同型外延层厚度的红外干涉测试方法

SJ 2758-1987

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 2758-1987标准状态

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本标准适用子与衬底同型外延层厚度的测量，衬底和外延层室温电阻率应分别小于0.02Ω·cm和大于0.1Ω·cm，可测厚度大于2μm.

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