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SJ 2798-1987 电子级气体中颗粒的测定方法.光散射法

SJ 2798-1987 电子级气体中颗粒的测定方法.光散射法

SJ 2798-1987

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 2798-1987标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子级气体中颗粒的测定方法.光散射法
  • 标准号：SJ 2798-1987
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：1987-05-18
    国际标准分类号：31-030
  • 实施日期：1988-01-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学技术管理综合标准化管理与一般规定SJ 电子

内容简介

本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氦中颗粒测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。本方法适用于电子级氢、氮、氧、氩、氮中颗粒的测定，也适用于普通氢、氮、氧、氩、氦及其他无腐蚀性气体中颗粒的测定。

起草单位

电子工业部标准化研究所

起草人

周定华、杜俊英、赵长春

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