SJ 20842-2002 砷化镓表面镓砷比的测试方法
SJ 20842-2002
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标准SJ 20842-2002标准状态
- 发布于：2002-10-30
- 实施于：2003-03-01
- 废止
内容简介
本标准规定了砷化镓材料表面镓砷比的X射线光电子能谱的试验方法。本标准适用于监测砷化镓器件制造过程中各种表面处理对砷化镓晶片表面镓砷比的影响，也适用于晶片加工中的各种表面处理。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六所
起草人
相近标准
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