T/ZZB 3539-2023 单晶硅棒磨倒一体机
T/ZZB 3539-2023
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标准T/ZZB 3539-2023标准状态
- 发布于:2023-12-01
- 实施于:2023-12-10
- 废止
内容简介
本文件规定了单晶硅棒磨倒一体机的基本参数、规格和型号、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于加工边距尺寸为156mm~240mm的单晶硅棒的磨倒一体机(以下简称“磨倒一体机”)。
起草单位
天通日进精密技术有限公司、嘉兴学院、嘉兴嘉麟智能科技有限公司。
起草人
苏静洪、裴忠、张钦亮、朱勤超、吴张琪、陶施家、戴建良、韩鸣明、张佳斌、王涛、朱一豪、何振卫、周振峰、王锐。
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