GB/T 25495-2010 吸气剂金属释放特性测试方法
GB/T 25495-2010
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标准GB/T 25495-2010标准状态
- 发布于:2010-12-01
- 实施于:2011-05-01
- 废止
内容简介
国家标准《吸气剂金属释放特性测试方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了吸气剂金属释放特性测试方法,如释汞吸气剂的总释汞量、标准释汞量、释汞特性曲线及热稳定性的测试方法、蒸散型钡吸气剂得钡量的测试方法、掺氮吸气剂钡膜分布测试方法。本标准适用于真空器什用吸气剂。
起草单位
南京华东赛斯真空材料有限公司、中国电子科技集团公司第十二研究所、工业和信息化部电子工业标准化研究所、
起草人
薛函迎、 郭卫斌、 张巨先、刘筠、
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