GB/T 1557-2018 硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法
GB/T 1557-2018
国家标准推荐性标准GB/T 1557-2018标准状态
- 发布于:2018-09-17
- 实施于:2019-06-01
- 废止
内容简介
国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,TC203SC2(全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了采用红外光谱法测定硅单晶晶体中间隙氧含量的方法。本标准适用于室温电阻率大于0.1Ω · cm的N型硅单晶和室温电阻率大于0.5Ω · cm的P型硅单晶中间隙氧含量的测定。以常温红外设备测试时,氧含量(原子数)测试范围从1X1016cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度;以低温红外设备测试时,氧含量(原子数)的测试范围从0.5X1015cm-3到硅中间隙氧的最大固溶度。
起草单位
新特能源股份有限公司、亚洲硅业(青海)有限公司、隆基绿能科技股份有限公司、峨嵋半导体材料研究所、有研半导体材料有限公司、宜昌南玻硅材料有限公司、内蒙古盾安光伏科技有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、
起草人
银波、 夏进京、 柴欢、 赵晶晶、 王海礼、 邓浩、 陈赫、 石宇、 邱艳梅、刘国霞、刘文明、姚利忠、高明、郑连基、杨旭、肖宗杰、
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