GB/T 16945-1997 电子工业用气体氩_标准下载

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GB/T 16945-1997 电子工业用气体氩

Gases for electronic industry--Argon

GB/T 16945-1997

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标准GB/T 16945-1997标准状态

发布于：1997-08-13
实施于：1998-05-01
废止

标准详情

标准名称：电子工业用气体氩
标准号：GB/T 16945-1997
中国标准分类号：G86
发布日期：1997-08-13
国际标准分类号：71.100.20
实施日期：1998-05-01
技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
代替标准：被GB/T 16945-2009代替
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：化工技术化工产品工业气体

内容简介

本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。电子工业用氩气用于系统的吹扫、保护和增压，它还可用于化学气相淀积、溅射，等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。分子式：Ar 相对分子质量：39.948（按1991年国际相对原子质量）

起草单位

化学工业部西南化工研究院

起草人

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