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GB/T 1555-1997 半导体单晶晶向测定方法

GB/T 1555-1997 半导体单晶晶向测定方法

Test methods for determining the orientation of a semiconductor single crystal

GB/T 1555-1997

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标准GB/T 1555-1997标准状态

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  • 标准名称：半导体单晶晶向测定方法
  • 标准号：GB/T 1555-1997
    中国标准分类号：H21
  • 发布日期：1997-12-22
    国际标准分类号：29.045
  • 实施日期：1998-08-01
    技术归口：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 代替标准：代替GB/T 1555-1979;GB/T 1556-1979;GB/T 5254-1985;GB/T 5255-1985;GB/T 8759-1988被GB/T 1555-2009代替
    主管部门：国家标准化管理委员会
  • 标准分类：电气工程半导体材料

内容简介

本标准规定了半导体单晶晶向X射线衍射定向和光图定向的方法。 本标准适用于测定半导体单晶材料大致平行于低指数原子面的晶体的表面取向。 本标准包括两种试验方法： 方法A X射线衍射定向法。该方法可用于所有半导体单晶的定向。 方法B 光图定向法。该方法目前用于单一元素半导体单晶的定向。

起草单位

峨嵋半导体材料厂

起草人

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