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GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

GB/T 20307-2006 纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

General rules for nanometer-scale length measurement by SEM

GB/T 20307-2006

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  • 标准名称:纳米级长度的扫描电镜测量方法通则
  • 标准号:GB/T 20307-2006
    中国标准分类号:N33
  • 发布日期:2006-07-19
    国际标准分类号:17.040;37.020
  • 实施日期:2007-02-01
    技术归口:全国微束分析标准化技术委员会
  • 代替标准:
    主管部门:国家标准化管理委员会
  • 标准分类:计量学和测量、物理现象长度和角度测量成像技术光学设备

内容简介

国家标准《纳米级长度的扫描电镜测量方法通则》由TC38(全国微束分析标准化技术委员会)归口,TC38SC3(全国微束分析标准化技术委员会新材料微束分析分会)执行,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm~500nm的点或线的间距。

起草单位

中国科学院地质与地球物理研究所、中国科学院化学所、上海理工大学、同济大学、中国地质科学院矿产资源研究所、

起草人

张训彪、 曾荣树、 廖宗廷、卢德生、

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