标准详情
- 标准名称:X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
- 标准号:GB/T 31472-2015
- 中国标准分类号:N26
- 发布日期:2015-05-15
- 国际标准分类号:17.220.20
- 实施日期:2016-01-01
- 技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
- 代替标准:
- 主管部门:国家标准化管理委员会
- 标准分类:计量学和测量、物理现象电学、磁学、电和磁的测量电和磁量值的测量
国家标准《X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南》由TC203(全国半导体设备和材料标准化技术委员会)归口,主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了X射线光电子能谱(XPS)的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术,不适用于其他电子激发系统。
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李雨辰、 何秀坤、 李翔、 刘筠、刘兵、
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