GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法_标准下载

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GB/T 38446-2020 微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法

Micro-electromechanical system technology—Test methods for tensile property measurement of strip thin films

GB/T 38446-2020

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标准GB/T 38446-2020标准状态

发布于：2020-03-06
实施于：2020-10-01
废止

标准详情

标准名称：微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法
标准号：GB/T 38446-2020
中国标准分类号：L55
发布日期：2020-03-06
国际标准分类号：31.200
实施日期：2020-10-01
技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：国家标准化管理委员会
标准分类：电子学集成电路、微电子学

内容简介

国家标准《微机电系统（MEMS）技术带状薄膜抗拉性能的试验方法》由TC336（全国微机电技术标准化技术委员会）归口，主管部门为国家标准化管理委员会。
本标准规定了带状薄膜抗拉性能的试验方法及数据处理。本标准适用于厚度在50nm到数微米之间且长度和厚度的比值大于300的样品，也可用于MEMS产品带状薄膜结构的质量监控。

起草单位

北京大学、北京智芯传感科技有限公司、中北大学、中机生产力促进中心、无锡华润上华科技有限公司、北京必创科技股份有限公司、

起草人

张威、李海斌、夏长奉、石云波、程红兵、周浩楠、张亚婷、朱悦、陈得民、马书嫏、

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