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SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范

SJ 21257-2018 离子束溅射镀膜设备通用规范

SJ 21257-2018

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 21257-2018标准状态

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标准详情

  • 标准名称：离子束溅射镀膜设备通用规范
  • 标准号：SJ 21257-2018
    中国标准分类号：C01
  • 发布日期：2018-01-18
    国际标准分类号：71.060
  • 实施日期：2018-05-01
    技术归口：工业和信息化部电子第四研究院
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：化工技术SJ 电子

内容简介

本规范规定了离子束溅射镀膜设备的通用要求、质量保证规定、交货准备。本规范适用于离子束溅射镀膜设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人

胡凡、陈特超、刘欣、龙长林

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