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SJ 21320-2018 微组装湿法清洗设备工艺验证方法

SJ 21320-2018 微组装湿法清洗设备工艺验证方法

SJ 21320-2018

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 21320-2018标准状态

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  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：微组装湿法清洗设备工艺验证方法
  • 标准号：SJ 21320-2018
    中国标准分类号：
  • 发布日期：2018-01-18
    国际标准分类号：71.120
  • 实施日期：2018-05-01
    技术归口：工业和信息化部电子第四研究院
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：化工技术SJ 电子

内容简介

本标准规定了微组装湿法清洗设备的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于微组装水基清洗、溶剂清洗等手动、半自动和全自动湿法清洗设备工艺性能的验证。

起草单位

中国电子科技集团公司第二研究所

起草人

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