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SJ 21315-2018 旋涂及热板设备通用规范

SJ 21315-2018 旋涂及热板设备通用规范

SJ 21315-2018

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 21315-2018标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：旋涂及热板设备通用规范
  • 标准号：SJ 21315-2018
    中国标准分类号：
  • 发布日期：2018-01-18
    国际标准分类号：91.120
  • 实施日期：2018-05-01
    技术归口：工业和信息化部电子第四研究院
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：建筑材料和建筑物SJ 电子

内容简介

本规范规定了旋涂及热板设备的通用要求、质量保证规定、交货准备和说明事项等内容。本规范适用于旋涂及热板设备(以下简称设备)的设计、生产、检验和验收。

起草单位

中国电子科技集团公司第二研究所

起草人

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