SJ/Z 21537-2018 半导体集成电路统计过程控制技术实施指南_标准下载

SJ/Z 21537-2018 半导体集成电路统计过程控制技术实施指南

行业标准-SJ 电子指导性技术文件

本标准规定了半导体集成电路制造过程实施统计过程控制(SPC)技术的方法、主要步骤和相关技术的应用。本标准适用于半导体集成电路工艺制造过程实施SPC。

工业和信息化部电子第四研究院、西安电子科技大学、中国电子科技集团公司第二十四研究所、中国电子科技集团公司第五十八研究所

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