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SJ/T 10312-1992 电子束暴光机通用技术条件

SJ/T 10312-1992 电子束暴光机通用技术条件

SJ/T 10312-1992

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标准SJ/T 10312-1992标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子束暴光机通用技术条件
  • 标准号：SJ/T 10312-1992
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：1992-06-15
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：1992-12-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：电子学SJ 电子

内容简介

行业标准《电子束暴光机通用技术条件》，主管部门为电子工业部。本标准规定了电子束曝光机的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。本标准适用于集成电路、微波器件、光电器件、声表面波器件等微细图形制作的电子束曝光机。

起草单位

机械电子工业部第48研究所

起草人

标准主要起张俊国

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