标准详情
- 标准名称:PRS-801型等离子去胶机完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31069-1994
- 中国标准分类号:L95
- 发布日期:2010-02-25
- 国际标准分类号:31-550
- 实施日期:1997-01-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学电子元器件与信息技术SJ 电子电子工业生产设备加工专用设备
本标准规定了半导体器件集成电路生产用等离子去胶机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于PRS-801型等离子去胶机。
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