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SJ/T 31062-1994 RD4500型离心干燥机完好要求和检查评定方法

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本标准规定了RD-4500型离心干燥机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于RD-4500离心干燥机。其它半导体器件、集成电路生产用的类似结构离心干燥机亦可参照执行。

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