当前位置：标准网 行业标准

SJ/T 31068-1994 离子注入机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31068-1994 离子注入机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31068-1994

行业标准-SJ 电子推荐性
收藏报错

标准SJ/T 31068-1994标准状态

  1. 发布于：
  2. 实施于：
  3. 废止

标准详情

内容简介

本标准规定了LC-2F型电能离子注入机和200MC-A型离子注入机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体器件集成电路生产用离子注入机。

起草单位

起草人

相近标准

SJ/T31070-19941482型键合机完好要求和检查评定方法
SJ/T31071-1994超声热压键合机完好要求和检查评定方法
SJ/T31072-1994FS－30联动机完好要求和检查评定方法
SJ/T31073-1994印记打印机完好要求和检查评定方法
SJ/T31074-1994MK－5000型印记打印机完好要求和检查评定方法
SJ/T31075-1994ED－401型装片机完好要求和检查评定方法
SJ/T31076-1994小功率晶体管封帽机完好要求和检查评定方法
SJ/T31077-1994封帽机完好要求和检查评定方法
SJ/T31078-1994塑封压机完好要求和检查评定方法
SJ/T31079-1994正、负胶显示影机、匀胶机完好要求和检查评定方法

* 特别声明：资源收集自网络或用户上传，版权归原作者所有，如侵犯您的权益，请联系我们处理。

标准网本地下载
  • 标准质量：

    • 下载说明

  • ① 欢迎分享本站未收录或质量优于本站的标准，期待。
    ② 标准出现数据错误、过期或其它问题请点击下方「在线纠错」通知我们，感谢！
    ③ 本站资源均来源于互联网，仅供网友学习交流，若侵犯了您的权益，请联系我们予以删除。
  • 在线纠错
    • 标准过期 下载问题 模糊有误 其它问题

    「相关推荐」