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SJ/T 31095-1994 劈刀研磨装置完好要求和检查评定方法

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本标准规定了半导体集成电路生产用陶瓷劈刀研磨装置的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于KIKO型劈刀研磨装置，结构类似的其它型号的劈刀研磨装置，亦可参照执行。

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