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SJ/T 31107-1994 ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法

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SJ/T 31107-1994

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本标准规定了ZDS-1型电泳机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于半导体器件生产用类似ZDS-1型电泳机。

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