标准详情
- 标准名称:DRS-Ⅱ840型激光修版机完好要求和检查评定方法
- 标准号:SJ/T 31105-1994
- 中国标准分类号:L95
- 发布日期:2010-02-25
- 国际标准分类号:31-550
- 实施日期:1997-01-01
- 技术归口:
- 代替标准:
- 主管部门:
- 标准分类:电子学电子元器件与信息技术SJ 电子电子工业生产设备加工专用设备
本标准规定了DRS-Ⅱ840型激光修版机的完好要求和检查、评定方法。本标准适用于集成电路制版用激光修版机。
SJ/T31107-1994ZDS-1型电泳机完好要求和检查评定方法
SJ/T31108-1994CG3000型单晶炉完好要求和检查评定方法
SJ/T31109-1994高压单晶炉完好要求和检查评定方法
SJ/T31110-1994AMV-1284型硅外延炉完好要求和检查评定方法
SJ/T31111-1994AMC-7811/21型桶式外延炉完好要求和检查评定方法
SJ/T31113-1994DB-3型电子束曝光机完好要求和检查评定方法
SJ/T31115-1994精缩机完好要求和检查评定方法
SJ/T31116-1994PLA-501F型光刻机完好要求和检查评定方法
SJ/T31117-199415B型磨片机完好要求和检查评定方法
SJ/T31118-1994RS-H80H型外圆磨机完好要求和检查评定方法
* 特别声明:资源收集自网络或用户上传,版权归原作者所有,如侵犯您的权益,请联系我们处理。