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SJ 2799-1987 电子级气体中痕量水分子的测定方法.目视露点法

SJ 2799-1987 电子级气体中痕量水分子的测定方法.目视露点法

SJ 2799-1987

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 2799-1987标准状态

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标准详情

  • 标准名称：电子级气体中痕量水分子的测定方法.目视露点法
  • 标准号：SJ 2799-1987
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：1987-05-18
    国际标准分类号：31-030
  • 实施日期：1988-01-01
    技术归口：
  • 代替标准：
    主管部门：电子工业部
  • 标准分类：技术管理标准化管理与一般规定电子学综合SJ 电子

内容简介

本方法适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测定范围0～90℃。本标准适用于氢、氮、氧、氩、氦、压缩空气、磷烷、硼烷、六氟化硫等电子工业工艺用气体中微量水份露点的测定，测量范围0∽90℃。

起草单位

电子工业部标准化研究所

起草人

尹恩华、郎文卉、于凤来、赵长春

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