SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液_标准下载

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SJ/T 11507-2015 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液

SJ/T 11507-2015

行业标准-SJ 电子推荐性

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标准SJ/T 11507-2015标准状态

发布于：2015-04-30
实施于：2015-10-01
废止

标准详情

标准名称：集成电路用氧化层缓冲腐蚀液
标准号：SJ/T 11507-2015
中国标准分类号：L90
发布日期：2015-04-30
国际标准分类号：31.030
实施日期：2015-10-01
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
代替标准：
主管部门：工业和信息化部
标准分类：电子学电子技术专用材料 SJ 电子电子

内容简介

行业标准《集成电路用氧化层缓冲腐蚀液》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。本标准规定了集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的术语、性状、技术要求、试验方法、检验规则和包装、标志、储存、运输等。本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液。本标准不涉及使用安全性问题。本标准的使用人应负责建立适当的安全健康条款及使用范围的限制。

起草单位

江阴润玛电子材料股份有限公司、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

戈士勇、何珂、王周霞、

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