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SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

SJ/T 11763-2020 半导体制造设备人机界面规范

SJ/T 11763-2020

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标准SJ/T 11763-2020标准状态

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  • 标准名称：半导体制造设备人机界面规范
  • 标准号：SJ/T 11763-2020
    中国标准分类号：L95
  • 发布日期：2020-12-09
    国际标准分类号：31-550
  • 实施日期：2021-04-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
  • 代替标准：
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学SJ 电子电子

内容简介

行业标准《半导体制造设备人机界面规范》由全国半导体设备和材料标准化技术委员会归口上报，主管部门为工业和信息化部。适用于半导体制造设备本标准规定了半导体制造设备人机界面的术语和要求。本标准适用于半导体制造设备。其他领域如平板显示器制造设备也可参考本标准，但不在本标准适用范围之内。

起草单位

北京北方华创微电子装备有限公司、北方华创科技集团股份有限公司等、工业和信息化部电子工业标准化研究院、

起草人

付金生、冯亚彬、程朝阳、

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