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SJ 21256-2018 溅射镀膜设备工艺验证方法

SJ 21256-2018 溅射镀膜设备工艺验证方法

SJ 21256-2018

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 21256-2018标准状态

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  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：溅射镀膜设备工艺验证方法
  • 标准号：SJ 21256-2018
    中国标准分类号：
  • 发布日期：2018-01-18
    国际标准分类号：23.160
  • 实施日期：2018-05-01
    技术归口：工业和信息化部电子第四研究院
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：流体系统和通用件SJ 电子

内容简介

本标准规定了溅射镀膜设备工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于离子束溅射及磁控溅射镀膜设备(以下简称镀膜设备)工艺性能的验证。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十八研究所

起草人

佘鹏程、陈特超、张赛、胡凡

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