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SJ/T 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

SJ/T 31120-1994 KSM-MJB3型掩膜对准曝光机完好要求和检查评定方法

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本标准规定了KSM-MJB3型掩模对准曝光机的完好要求和检查、评定方法；本标准适用于德国产KSM-MJB3型曝光机；也适用于德国产KSM、MA56和美国产CA800型掩模对准曝光机。

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