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SJ 21254-2018 双面光刻机工艺验证方法

SJ 21254-2018 双面光刻机工艺验证方法

SJ 21254-2018

行业标准-SJ 电子强制性
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标准SJ 21254-2018标准状态

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  3. 废止

标准详情

  • 标准名称：双面光刻机工艺验证方法
  • 标准号：SJ 21254-2018
    中国标准分类号：A21
  • 发布日期：2018-01-18
    国际标准分类号：47.080
  • 实施日期：2018-05-01
    技术归口：工业和信息化部电子第四研究院
  • 代替标准：
    主管部门：
  • 标准分类：造船和海上构筑物SJ 电子

内容简介

本标准规定了双面光刻机工艺验证的一般要求、验证条件、验证方法等内容。本标准适用于双面光刻机(以下简称光刻机)工艺性能的验证。

起草单位

中国电子科技集团公司第四十五研究所

起草人

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