SJ 21247-2018 微组装电镀系统工艺验证方法_标准下载

SJ 21247-2018 微组装电镀系统工艺验证方法

行业标准-SJ 电子强制性

本标准规定了微组装电镀系统工艺验证的一般要求、验证条件和验证方法等内容。本标准适用于引线框架电镀、悬臂电镀、晶圆凸点电镀、高速自动电镀等半自动、全自动微组装电镀系统工艺性能的验证。

中国电子科技集团公司第二研究所

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