SJ 21441-2018 SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范
SJ 21441-2018
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标准SJ 21441-2018标准状态
- 发布于：2018-01-18
- 实施于：2018-05-01
- 废止
内容简介
本规范规定了SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片的技术要求、质量保证规定、交货准备等。本规范适用于SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片(以下简称碳化硅单晶片)。
起草单位
中国电子科技集团公司第四十六研究所
起草人
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