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SJ/T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

SJ/T 1543-2020 电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法

SJ/T 1543-2020

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标准详情

  • 标准名称：电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法
  • 标准号：SJ/T 1543-2020
    中国标准分类号：L90
  • 发布日期：2020-12-09
    国际标准分类号：31.030
  • 实施日期：2021-04-01
    技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员
  • 代替标准：代替SJ 1543-1988
    主管部门：工业和信息化部
  • 标准分类：电子学SJ 电子电子

内容简介

行业标准《电真空器件用镍及镍合金光谱分析方法》由全国半导体设备和材料标准化技术委员归口上报，主管部门为工业和信息化部。适用于电真空器件用镍及镍合金中元素含量的测定本标准规定了电真空器件用镍及镍合金中硅、镁、铁、铜、锰、钴、铝、砷、锡、铅、锑、铋、镉、锌的光谱分析方法。本标准适用于电真空器件用镍及镍合金中元素含量的测定。测定范围如表1所示。

起草单位

中国电子技术标准化研究院、

起草人

张旭、张理、裴会川、

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